隨著半導體晶片線徑越做越小，關鍵設備光刻機(lithography machine)的精密度也越來越高。目前業界最先進的極紫外光EUV(Extreme Ultra-Violet)微影光刻機台，因極紫外光所使用光源的波長為 13.5奈米，不是大家都可以做得出的產品。全球光刻機有三家主要供應商：ASML、Nikon 及 Canon。ASML以市占率超過八成居首，而且僅有ASML能提供最先進的 EUV微影光刻機台，每座EUV機台售價超過1億美元，在7奈米以下的製程，非使用這種精密設備不可，ASML可以說市場領導者。
1984年荷蘭半導體設備廠ASMI與Philips合資設立一家光刻機專業廠商，名字仍叫ASML。從30位員工開始，發展成為今天的知名跨國企業。ASML目前全球員工25,000人，其中荷蘭總公司大約有14,000名，臺灣員工則有2,500人，大部分為研發人員，研發支出占總營收的16%。除荷蘭之外，目前ASML在美國、韓國、臺灣、中國、日本和新加坡設有營業據點。
臺灣是全球半導體主要製造基地，也是ASML的重點銷售國家，為了就近服務客戶，ASML於2003年在臺灣成立分公司。2018年年底，ASML將臺灣總部遷至新竹市的台肥大樓，占地4,000餘坪，辦公室採歐風設計，提供員工健身房、視野極佳的咖啡廳等休閒設施，以激發創意。ASML在臺主要業務是微影光刻機台的設備製造、銷售、訓練及售後服務。員工從開始時不到100人發展到今日2,500人的規模，其中客戶支援工程師約1,600人。
ASML在臺投資規模的擴大，主要是2016年併購上櫃公司漢微科(Hermes Microvision, Inc., HMI)，將其先進的電子束檢測技術納入光刻機，以優化5奈米以下EUV微影光刻機台之曝光精準度。併購擴大了ASML在臺投資規模，也強化了和在地供應商的連結，相關技術的訓練也留在臺灣。
ASML全球副總裁暨臺灣分公司總經理陳文光簡要說明臺灣營運狀況：「臺灣有五個營運據點，分別是新竹總部、林口、臺中、臺南客戶支援辦公室，以及林口和台南兩個研發和製造廠。林口廠區則負責機台翻新業務、光學量測設備模組整合設計及組裝，及光罩傳輸模組的製造，並設有全球培訓中心，負責ASML其他國家的員工和客戶訓練。台南廠區則是接收漢微科電子束檢測研發與設備製造團隊，並將在該廠區內，設置EUV培訓中心，就近服務客戶」陳文光總經理並指出，「臺灣的工程師大都有碩博士的學歷，多數來自物理、化學等基礎科學領域，訓練紮實、勤奮認真，工作能力很強。」母公司若有職位空缺都會公布在公司網頁上，臺灣員工也有很多機會可調派到海外工作。
陳文光總經理稱讚 「臺灣的基礎設施完善、人才優秀、產業聚落完整，機械產業對於光刻設備製造的互補性高，都是ASML加碼投資臺灣的考量因素。」在產學合作研發方面，ASML贊助由科技部主辦的「臺灣科普環島列車」，與成功大學光電工程學系合作，整合成大、交大、中央、逢甲、中山、東華等六間大學共80位光電學系所學生，結合3D光學投影、光感測與程式模擬等應用，透過軟體、投影機和X-box Kinect感測器來進行沙箱內地形的模擬，培育更多的光電人才。
ASML將荷蘭「循環經濟」的理念，應用在產品設計與銷售策略上。除了提高能源效率，將資源及物料的使用效率最佳化，臺灣具備提升ASML設備升級和循環效率的優勢。ASML林口廠營運總經理趙中臻解釋「ASML也提供舊設備重新翻修升級的服務，來滿足客戶的需求，延長設備的壽命。ASML未來在臺灣將進一步拓展研發能量，以即時掌握設備改善的方向與狀況，例如未來將在台增設零件更新中心將設在臺灣；也將規劃其他零組件在臺生產。」
趙中臻總經理認為亞洲是全球半導體的製造基地，臺灣半導體製造業是ASML的重要客戶，隨著臺灣先進製程發展，ASML將提高設備在臺採購比率，已敲定先提高「深紫外光光罩傳輸模組」設備的零組件在臺製造比率。
就ASML EUV微影光刻機台的先進科技而言，臺灣生產的高品質零組件是ASML優先採購的對象，將與臺灣供應鏈廠商溝通，從中找尋適合的供應商，確保零件供應的品質。
擴大技術合作的同時，在臺灣的投資環境方面，陳文光總經理提出ASML關切智慧財產權保護議題，希望臺灣強化智財權的保護。此外，外商申請投資臺灣的各項審核行政流程方面，亦有簡化空間。另外在機台運送與倉儲方面，由於一台EUV機台龐大，在運輸時的交通管制問題，需政府協助；在桃園機場進口保稅倉庫僅可短期儲存，也需找尋能放置較久的倉庫用地。
最後，身為全球頂尖的半導體設備商，陳文光總經理期許在臺灣的投資持續成長，並將引進更多的技術與人才，歡迎大家一起加入ASML。企業社會責任是ASML未來關注的重點，回饋臺灣社會，從事公益環保活動，ASML將與臺灣人民一起成長。
資料來源： 經濟部投資促進司
經濟部
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